主題：代爾夫特理工大學(xué)在硅基微機電系統(tǒng)領(lǐng)域的研究進展
主講人：Paddy French 教授
時間：2024年11月21日(星期四)下午4:00-5:00
地點：厚德樓A809
主辦單位：電子科技大學(xué)中山學(xué)院電子信息學(xué)院
報告人簡介：
Paddy French 是代爾夫特理工大學(xué)教授，分別于1981年和1982年獲得英國南安普頓大學(xué)數(shù)學(xué)學(xué)士學(xué)位和電子學(xué)碩士學(xué)位。1986年，他在南安普頓大學(xué)獲得博士學(xué)位，研究方向是多晶硅中的壓阻效應(yīng)。在荷蘭代爾夫特大學(xué)擔(dān)任博士后18個月后，于1988年移居日本，在日產(chǎn)汽車公司的中央工程實驗室從事了3年的汽車傳感器研究。1991 年 5 月，他回到代爾夫特大學(xué)，成為電子儀器實驗室的一名工作人員。1999 年，他被授予安東尼-范-列伊文虎克（Antoni van Leeuwenhoek）教席，并于 2002 年至 2012 年擔(dān)任電子儀器實驗室主任。2019 年，他調(diào)入生物醫(yī)學(xué)電子學(xué)組。2001-2018 年期間，他擔(dān)任Sensors and Actuators A主編和Sensors and Actuators A&B總編輯。他參與和組織了許多國際會議，包括2004年IEEE MEMS 聯(lián)席主席、2007-2009年IEEE Sensors項目主席和2020年IEEE Sensors聯(lián)席主席。他是電氣與電子工程師學(xué)會研究員和IAAM研究員。他的研究方向是集成傳感器系統(tǒng)、微機械加工，特別是醫(yī)療應(yīng)用。
代爾夫特理工大學(xué)始建于1842年，位于荷蘭代爾夫特市，前身為荷蘭王國皇家學(xué)院，歐洲頂尖工科聯(lián)盟IDEA聯(lián)盟戰(zhàn)略成員， 2024年QS世界大學(xué)排名第47名，2024年泰晤士高等教育世界大學(xué)排名第48名。
報告內(nèi)容摘要：
本次講座重點介紹荷蘭代爾夫特理工大學(xué)（TU Delft）在硅基微機電系統(tǒng)領(lǐng)域的研究情況。1970年，Simon Middelhoek教授領(lǐng)導(dǎo)的實驗室開啟了荷蘭代爾夫特理工大學(xué)硅基微機電系統(tǒng)領(lǐng)域研究工作。借助成熟的硅工藝，實驗室在集成傳感器系統(tǒng)方面取得長足發(fā)展，并逐漸成為該領(lǐng)域破局影響力的頂級實驗室。1988年，實驗室建成百級超凈間，有力支撐了傳感器和微機電系統(tǒng)領(lǐng)域的廣泛研究，在基本原理、制造技術(shù)和產(chǎn)品應(yīng)用方面取得重要成果。特別是與工業(yè)界的緊密合作，催生成立公司，并與許多醫(yī)院合作開發(fā)傳感器系統(tǒng)，促成了生物電子學(xué)實驗室的成立。本次講座也將展示代爾夫特理工大學(xué)在硅基微機電系統(tǒng)領(lǐng)域的近期進展和未來發(fā)展方向。
電子信息學(xué)院
2024年11月19日
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